[发明专利]抽真空-检漏组件、整体检测容器组件、检漏设备以及检漏方法有效
| 申请号： | 202210302949.1 | 申请日： | 2022-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN114608763B | 公开（公告）日： | 2023-01-24 |
| 发明（设计）人： | 孙晓恺;陆兆韦;刘继东;靳林达 | 申请（专利权）人： | 苏州中科科美科技有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20;G01M3/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种抽真空‑检漏组件、整体检测容器组件、检漏设备以及检漏方法，属于智能化实验仪器以及检测设备这一技术领域；其技术要点包括：所述主管路的一端与整体检测容器用抽空阀连接，另一端通过三通分别与抽真空管路、检漏管路的一端连接；所述抽真空管路的另一端与检漏阀连接，从抽真空管路的一端到另一端的方向上依次安装：主抽阀、分子泵、检漏阀、氦质谱检漏仪；氦质谱检漏仪与检漏阀连通；检漏管路的另一端也与检漏阀连接；从检漏管路的一端到另一端的方向上依次安装预抽阀、前级泵、前级阀；所述检漏管路的另一端与所述抽真空管路的另一端连通。采用本申请的一种抽真空‑检漏组件、整体检测容器组件、检漏设备以及检漏方法，能够有效的检测漏率较低的构件。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 检漏 组件 整体 检测 容器 设备 以及 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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