[发明专利]极紫外光产生方法和系统在审
| 申请号： | 202210302262.8 | 申请日： | 2022-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN114675502A | 公开（公告）日： | 2022-06-28 |
| 发明（设计）人： | 马修泉;刘旭奇;吴寒;陆培祥 | 申请（专利权）人： | 广东省智能机器人研究院 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 潘宏洲 |
| 地址： | 523808 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种极紫外光产生方法及系统，包括：光纤激光光源装置根据激光参数产生激光脉冲；液滴靶生成装置在真空环境中根据液滴靶参数生成两路以上交替喷出的液滴靶流，在预设打靶位置形成重复频率与激光脉冲的重复频率匹配的液滴靶；激光脉冲在预设打靶位置轰击对应的液滴靶，产生极紫外光。通过采用能产生高重复频率激光脉冲满足系统要求的光纤激光光源装置，并搭配液滴靶生成装置生成多路交替喷出的液滴靶流，在预设打靶位置形成重复频率与所述激光脉冲的重复频率匹配的液滴靶，实现多路液滴靶流的液滴靶都能在预设打靶位置完全被激光脉冲轰击得到极紫外光，以较高的轰击频率达到提升极紫外光转换效率的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 紫外光 产生 方法 系统 | ||
【主权项】：
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