[发明专利]氮化硅波导辅助悬臂梁端面耦合器有效
| 申请号： | 202210295252.6 | 申请日： | 2022-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN114594548B | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 程秀兰;李雅倩;王敏;权雪玲;刘民;王晓东 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G02B6/13 | 分类号： | G02B6/13;G02B6/136;G02B6/12 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 胡晶 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种氮化硅波导辅助悬臂梁端面耦合器，包括硅衬底、氮化硅波导结构、硅波导结构、连接梁结构以及悬臂梁结构；悬臂梁结构连接设置在连接梁结构上，连接梁结构连接设置在硅衬底上；硅衬底设置有衬底槽，悬壁梁结构悬于衬底槽的上方；氮化硅波导结构和硅波导结构设置在悬壁梁结构内，氮化硅波导结构位于硅波导结构的上方；氮化硅波导结构的一端设置在耦合端面处，硅波导结构的一端与耦合端面间隔设置；氮化硅波导结构为亚波长光栅氮化硅波导结构，硅波导结构为亚波长光栅倒锥硅波导结构。本发明提高了端面耦合器的耦合效率，降低了耦合器的偏振敏感性。 | ||
| 搜索关键词： | 氮化 波导 辅助 悬臂梁 端面 耦合器 | ||
【主权项】：
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