[发明专利]一种使用高能激光制备石墨烯气体传感器的方法在审
申请号: | 202210291418.7 | 申请日: | 2022-03-23 |
公开(公告)号: | CN114660131A | 公开(公告)日: | 2022-06-24 |
发明(设计)人: | 高峰;王小牛;王莹;侯世坤;康佳宁 | 申请(专利权)人: | 中国计量大学 |
主分类号: | G01N27/12 | 分类号: | G01N27/12;C01B32/19;C01B32/198 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 310018 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于石墨烯的新型气体传感器。所述气体传感器中,以微型平整石墨基板为基础材料,通过高能激光加工手段,沿设计的路径进行加工,将加工路径中的石墨转化为石墨烯或其衍生物,加工路径之外的石墨不发生变化,加工后的结构构成一个气体传感器;其中石墨部分作为电极与外部电路相连,石墨烯部分作为气体测量单元进行气体浓度传感;其主要的工作机理是石墨烯或其衍生物在吸附气体后,电阻数值会发生变化,通过外置电路测量电阻阻值的改变量,可以得到气体浓度信息。所述气体传感器体积小、重量轻、制作方便、能够批量生产、与外部电路连接容易、可以集成在大规模集成电路中,在消费电子领域会产生极大的价值。 | ||
搜索关键词: | 一种 使用 高能 激光 制备 石墨 气体 传感器 方法 | ||
【主权项】:
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