[发明专利]一种具有不同倾角汇流条的声表面波谐振器在审
申请号: | 202210290656.6 | 申请日: | 2022-03-23 |
公开(公告)号: | CN114614794A | 公开(公告)日: | 2022-06-10 |
发明(设计)人: | 刘贤栋;高安明;张海力;姜伟 | 申请(专利权)人: | 浙江星曜半导体有限公司 |
主分类号: | H03H9/25 | 分类号: | H03H9/25;H03H9/145;H03H9/02 |
代理公司: | 合肥昊晟德专利代理事务所(普通合伙) 34153 | 代理人: | 何梓秋 |
地址: | 325024 浙江省温州市浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种具有不同倾角汇流条的声表面波谐振器,属于压电技术领域,包括叉指换能器、两个反射栅,两个所述反射栅分别设置在所述叉指换能器两侧;所述反射栅包括两个短路条、反射栅指条,所述反射栅指条设置在所述两个短路条之间,所述短路条将所述反射栅指条短路,构成短路反射栅。本发明上下汇流条具有不同倾角,使得谐振器中具有多个不同偏向角,改变谐振器的偏向角,使得谐振器能流方向和谐振器指条排列方向接近,声波横向分量减小,同时,谐振器的每部分具有不同的孔径减弱了横向模的谐振,此种设计破坏了横向模的谐振条件,叉指电极激发的横向模式无法谐振,实现抑制横向模的效果,值得被推广使用。 | ||
搜索关键词: | 一种 具有 不同 倾角 汇流 表面波 谐振器 | ||
【主权项】:
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