[发明专利]一种用于极高真空系统的钛升华泵结构及其使用方法在审
| 申请号： | 202210288338.6 | 申请日： | 2022-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN114678252A | 公开（公告）日： | 2022-06-28 |
| 发明（设计）人： | 焦纪强;蒙峻;罗成;柴振;谢文君;杨伟顺;万亚鹏;刘建龙;李长春;魏宁斐 | 申请（专利权）人： | 中国科学院近代物理研究所 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;C23C14/16;C23C14/26 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 朱燕鸥 |
| 地址： | 730000 *** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于极高真空系统的钛升华泵结构及其使用方法，包括：泵体，所述泵体的底部形成有接口；泵芯，所述泵芯套设在所述泵体内，所述泵芯的顶端与外部电源连接；若干个钛膜沉积板，若干个所述钛膜沉积板固定安装在所述泵体的内壁，所述钛膜沉积板与所述泵芯隔开。钛升华泵结构还包括冷凝管道，所述冷凝管道缠绕在所述泵体的外壁上，所述冷凝管道的一端为冷凝介质入口，另一端为冷凝介质出口。增加极高真空系统中钛升华泵的抽气面积，同时有效降低钛膜沉积面的温度，提升钛升华泵抽速，使之能满足真空系统中极高真空度的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 极高 真空 系统 升华 结构 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
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