[发明专利]一种超高纯铜靶材热挤压成型方法在审
| 申请号： | 202210280060.8 | 申请日： | 2022-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN114589212A | 公开（公告）日： | 2022-06-07 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;周友平;慕二龙;汪焱斌 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B21C25/02 | 分类号： | B21C25/02;B21C23/14;B21C29/00;C23C14/34;C22F1/08 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 牛海燕 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种超高纯铜靶材热挤压成型方法，所述方法包括以下步骤：将超高纯铜杆加热至750‑850℃，然后依次进行热挤压和冷却，得到超高纯铜靶材；所述热挤压的挤压模具为五级阶梯式扩展变形通道；所述挤压模具加热的温度为650‑700℃；所述五级阶梯式扩展变形通道的每一级的扩展厚度均相同。本发明通过一次热挤压成型制作出铜靶材，设计的挤压模具使铜板坯变形更加均匀，晶粒大小分布更均匀，更利于成型；所述成本低、工艺简单、效率高，制备的铜板坯晶粒尺寸为20‑30μm，晶粒均一。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高纯 铜靶材热 挤压 成型 方法 | ||
【主权项】：
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