[发明专利]一种高储能柔性无机薄膜及其制备方法在审
| 申请号： | 202210277441.0 | 申请日： | 2022-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN114864283A | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 殷超;迟庆国;张天栋;张昌海 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨理工大学 |
| 主分类号： | H01G4/08 | 分类号： | H01G4/08;H01G4/12;H01G4/33 |
| 代理公司： | 哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司 23211 | 代理人： | 王芳 |
| 地址： | 150080 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种高储能柔性无机薄膜及其制备方法，属于储能介质材料制备技术领域。本发明解决了现有无机薄膜电容器储能性能偏低且弯折性较差的问题。本发明采用机械剥离、射频磁控溅射和快速退火工艺在Mica和金属电极之间引入宽禁带PZT薄层作为界面势垒层，抑制电极处电荷注入，提升击穿性能。且当退火温度为500℃时，退火处理过的PZT‑Mica‑PZT柔性无机薄膜具有优异的击穿强度(～792.5MV/m)和储能密度(～32.6J/cm |
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| 搜索关键词： | 一种 高储能 柔性 无机 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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