[发明专利]一种高储能柔性无机薄膜及其制备方法

权利要求书

1.一种高储能柔性无机薄膜，其特征在于，该无机薄膜由氟晶云母片层和锆钛酸铅层复合而成，所述的氟晶云母片层两侧分别镀覆一层锆钛酸铅膜层。

2.根据权利要求1所述的一种高储能柔性无机薄膜，其特征在于，所述的氟晶云母片层的厚度为10-30μm，所述的锆钛酸铅层的厚度为50-200nm。

3.一种如权利要求1所述的高储能柔性无机薄膜的制备方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：

(1)首先通过机械剥离方法获得氟晶云母片层，然后使用去离子水进行超声清洗15-25min，再然后使用丙酮/无水乙醇溶液超声清洗15-25min，最后烘干备用；

(2)将经过步骤(1)处理后的氟晶云母片层的两侧通过磁控溅射分别镀覆一层锆钛酸铅膜层，得到PZT-Mica-PZT薄膜；

(3)对步骤(2)获得的PZT-Mica-PZT薄膜进行退火处理，获得结晶良好的PZT-Mica-PZT柔性无机薄膜。

4.根据权利要求3所述的一种高储能柔性无机薄膜的制备方法，其特征在于，所述的步骤(1)中丙酮/无水乙醇溶液中丙酮和无水乙醇的体积比为1：(4-8)。

5.根据权利要求3所述的一种高储能柔性无机薄膜的制备方法，其特征在于，所述的步骤(2)的具体操作过程为：将经过步骤(1)处理后的氟晶云母片层固定在射频磁控溅射腔室内的基板上，安装上PZT陶瓷靶材后进行抽真空处理，真空度达到一定数值时，调控氩气与氧气的流量比确定溅射气压，调控溅射功率，在氟晶云母片层的一侧镀覆一层锆钛酸铅膜层，翻转氟晶云母片层采用相同的溅射条件在氟晶云母片层的另一侧镀覆一层锆钛酸铅膜层。

6.根据权利要求5所述的一种高储能柔性无机薄膜的制备方法，其特征在于，磁控溅射过程中真空度为2×10^-4-3×10^-4Pa。

7.根据权利要求5所述的一种高储能柔性无机薄膜的制备方法，其特征在于，磁控溅射过程中氩气与氧气的流量比为(3-4)：1，溅射气压为0.9-1.4Pa。

8.根据权利要求5所述的一种高储能柔性无机薄膜的制备方法，其特征在于，溅射功率为50-100W。

9.根据权利要求3所述的一种高储能柔性无机薄膜的制备方法，其特征在于，所述的步骤(3)中退火温度为500℃或700℃。

10.根据权利要求3所述的一种高储能柔性无机薄膜的制备方法，其特征在于，所述的步骤(3)中退火时间为1-5min。