[发明专利]等离子体处理系统、输送臂和环状部件的输送方法在审
| 申请号： | 202210275803.2 | 申请日： | 2022-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN115148571A | 公开（公告）日： | 2022-10-04 |
| 发明（设计）人： | 长山将之 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;B65G47/92 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳;刘芃茜 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供等离子体处理系统、输送臂和环状部件的输送方法，能够输送设置在处理基片的周边的环状部件。本发明的等离子体处理系统包括：处理腔室；配置于上述处理腔室内的基片支承台；环状部件，其配置在上述基片支承台的外缘部，具有与上述基片支承台接触的下表面、上述下表面的相反侧的上表面和将上述上表面与上述下表面之间连接的侧面；以及输送臂，其保持上述上表面或上述侧面，来对上述处理腔室送入或送出上述环状部件。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 处理 系统 输送 环状 部件 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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