[发明专利]岛形薄膜结构的形成方法和MEMS器件在审
| 申请号： | 202210273151.9 | 申请日： | 2022-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN114835081A | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 王续博;马有草;赵玉垚;刘悦 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 深圳市嘉勤知识产权代理有限公司 44651 | 代理人： | 董琳 |
| 地址： | 200030 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请公开一种岛形薄膜结构的形成方法和MEMS器件，所述形成方法包括：提供基底；提供掩模板，所述掩模板上具有通孔；将所述掩模板贴合固定于所述基底表面，所述通孔暴露出基底的部分表面；在所述通孔内以及所述掩模板表面沉积薄膜层；将所述掩模板与所述基底表面分离，在所述基底表面保留位于所述通孔内的岛形薄膜结构。上述岛形薄膜结构的形成方法具有工艺步骤简单、成本低、工艺稳定性高的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 结构 形成 方法 mems 器件 | ||
【主权项】：
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