[发明专利]一种可双重预冷的温控设备及温控方法在审
| 申请号： | 202210272640.2 | 申请日： | 2022-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN114740915A | 公开（公告）日： | 2022-07-12 |
| 发明（设计）人： | 张志军;李文博;何文明 | 申请（专利权）人： | 北京京仪自动化装备技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G05D23/20 | 分类号： | G05D23/20 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 张建利 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种可双重预冷的温控设备及温控方法，涉及半导体技术领域，可双重预冷的温控设备包括循环系统和制冷系统，循环系统包括水泵、水箱和电动三通阀，水泵的出液口与负载设备的进液口连通，负载设备的出液口设置有第一温度传感器，负载设备的出液口与电动三通阀的第一接口连通，电动三通阀的第二接口与水箱的第一进液口连通。通过控制电动三通阀，使得厂务水支路中的液体在预冷装置中与循环液进行热交换，实现对循环液的第一次预冷，再在水箱中通过制冷剂与循环液进行换热，实现了对循环液进行第二次预冷；通过对循环液进行双重预先换热，降低了循环液进入第一蒸发器入口时的温度，降低了对第一蒸发器的要求，提高了温控设备的温控精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双重 预冷 温控 设备 方法 | ||
【主权项】：
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