[发明专利]一种用于大长度导轨直线度测量的方法和系统在审
| 申请号： | 202210270915.9 | 申请日： | 2022-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN114623784A | 公开（公告）日： | 2022-06-14 |
| 发明（设计）人： | 胡常安;杜文波;李建钢;吕菲 | 申请（专利权）人： | 中国测试技术研究院机械研究所 |
| 主分类号： | G01B11/27 | 分类号： | G01B11/27;G01B11/00 |
| 代理公司： | 四川仓颉律师事务所 51329 | 代理人： | 张勇;曹华 |
| 地址： | 610021 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于大长度导轨直线度测量的方法和系统，涉及几何误差测量技术领域。测量系统包括导轨、固定台架、运动平台、第一激光干涉仪、第一干涉镜组、第一反射镜组、第二激光干涉仪、第二干涉镜组和第二反射镜组，第一干涉镜组设置在第一激光干涉仪和第一反射镜组之间，第二干涉镜组设置在第二激光干涉仪和第二反射镜组之间，第一反射镜组和第二反射镜组设置在运动平台上，第一激光干涉仪和第二激光干涉仪设置在固定台架上；通过沿导轨长度方向移动运动平台，即可测得反射镜组移动的位移，从而测得导轨的直线度。采用本发明的测量方法测量可同时测量导轨x、y或x、z方向的位移，简化了测量步骤，减小了测量误差。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 长度 导轨 直线 测量 方法 系统 | ||
【主权项】：
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