[发明专利]一种基于掩膜信息的尺寸测量方法及评分系统

摘要

一种基于掩膜信息的尺寸测量方法及评分系统，其中系统包括操作模块和检测模块，所述操作模块包括系统设置模块以及尺寸测量模块；系统设置模块包括参数配置、试题制作以及模板校准功能；进入系统设置模块需要输入密码；尺寸测量模块包括正面尺寸测量和侧面尺寸测量的功能；尺寸测量评分系统还包括退出系统模块；本发明通过设置尺寸测量界面完成参数配置、试题制作、模板校准以及尺寸测量的功能，实现模板的制作以及待检测零件的精确测量；并通过模板信息提取制作试题的模板源图，用于和待检测零件进行比较，进而实现打分。