[发明专利]非易失性FeOOH/TiO2

摘要

本发明属于微电子器件技术领域，具体涉及一种非易失性FeOOH/TiO2异质结忆阻器及其制备和多值存储调控方法，包括底电极，底电极上外延依次生长有TiO2阻变层和FeOOH阻变层，FeOOH阻变层表面沉积有上电极。制备方法包括，导电面朝下的底电极衬底斜放在水热反应釜内胆内，加入配制钛酸四丁酯的反应液，保持部分底电极衬底高于反应液面，密封后置于马弗炉中，水热反应；得到TiO2/底电极样品；外延生长面朝下斜放在水热反应釜内胆内，加入FeCl3·6H2O的反应溶液，密封后置于马弗炉中，水热反应完成后得到所需FeOOH/TiO2/底电极异质结样品；表面沉积一定厚度和形貌的上电极。本发明提供了一种低成本、高密度非易失性FeOOH/TiO2异质结忆阻器。