[发明专利]双层波导立体堆叠式低电压微型硅基光调制器在审
| 申请号： | 202210257366.1 | 申请日： | 2022-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN114609809A | 公开（公告）日： | 2022-06-10 |
| 发明（设计）人： | 许川佩;展翔;马贤;唐鹏;牛军浩;胡聪;陈涛 | 申请（专利权）人： | 桂林电子科技大学 |
| 主分类号： | G02F1/035 | 分类号： | G02F1/035;G02F1/03;G02F1/01 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 541004 广西壮族自治区*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本发明是一种基于Mach‑Zehnder干涉原理的双层波导立体堆叠式低电压微型硅基光调制器。具体由三大部分组成：一段方形波导构成的光耦合单元﹐用以将光波传输至所设计的堆叠式Mach‑Zehnder调制单元；堆叠式Mach‑Zehnder调制单元，用以对光波进行调制；光波干涉单元，用以将调制好的两束光波进行耦合产生干涉现象。其中,堆叠式Mach‑Zehnder调制单元由双层波导构成，减少了器件占用面积，其的双层波导由金属薄膜覆盖,在外加可编程低电压信号的作用下对金属薄膜电场进行控制，使得调制单元两波导折射率发生变化，进而两波导输出光波间产生相位差，最终实现光波调制的功能。通过给定电压编码的输入，能够实现两种相位差的快速切换，在特定电压调制下可实现光开关的功能。本发明可广泛应用于硅基光集成电路及电光芯片设计。 | ||
| 搜索关键词： | 双层 波导 立体 堆叠 电压 微型 硅基光 调制器 | ||
【主权项】：
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