[发明专利]一种用于周期可调同轴激光超声检测的光学系统在审
| 申请号： | 202210256344.3 | 申请日： | 2022-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN114674755A | 公开（公告）日： | 2022-06-28 |
| 发明（设计）人： | 岳猛猛;闫欣;高贵龙;何凯;辛丽伟;张杰;王迪;尹飞;汪韬;姚东;温珂瑶;李知兵;刘冲 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01N21/17 | 分类号： | G01N21/17;G01N21/01 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 赵逸宸 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明为解决现有激光超声检测模式中激发与检测相对独立，难以实现激发即检测或同轴激发检测，同时检测方法中需要通过更换掩膜、透镜阵列或光纤阵列的方式实现不同阵列线源周期可调，难以实现阵列线源周期连续可调的技术问题，而提供了一种用于周期可调同轴激光超声检测的光学系统。该系统基于声光衍射和4f成像原理，激发光和探测光同轴入射声光晶体，被声光衍射的激发光在待测样品表面干涉诱导瞬态光栅，同轴入射的探测光被表面瞬态光栅衍射，衍射出的探测光携带了样品超声响应信息，返回4f系统后被分离检出，超声的激发和探测经过同一个4f系统完成，实现同轴激发与检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 周期 可调 同轴 激光 超声 检测 光学系统 | ||
【主权项】：
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