[发明专利]扭转-弯曲耦合共振的扭转式微机械谐振器

摘要

本发明涉及一种扭转‑弯曲耦合共振的扭转式微机械谐振器，包括衬底、设置在衬底上的驱动电极和感应电极、设置在驱动电极和感应电极上方的活动极板，所述活动极板的两端分别与一个扭转支撑梁的一端连接，两个所述扭转支撑梁的另一端分别与一个固定支撑连接，两个固定支撑间隔设在衬底上，两个所述扭转支撑梁结构尺寸相同且沿长度方向的轴线重合，活动极板为矩形或圆形，扭转支撑梁的横截面为正方形，扭转支撑梁和活动极板的材料相同，活动极板的扭转振动固有频率与扭转支撑梁的弯曲振动固有频率相等。本发明所需的驱动力小，因此能用更小的驱动力获得相当大的振幅，节省了驱动能量，显著降低了驱动要求、提高了谐振器性能。