[发明专利]面向集成电路封测的全自动控制烘烤系统及烘烤方法在审
申请号: | 202210244708.6 | 申请日: | 2022-03-14 |
公开(公告)号: | CN114322510A | 公开(公告)日: | 2022-04-12 |
发明(设计)人: | 范建华;戴俊玺 | 申请(专利权)人: | 北京唯捷创芯精测科技有限责任公司 |
主分类号: | F26B11/18 | 分类号: | F26B11/18;F26B25/00;F26B25/18;G01R31/28 |
代理公司: | 北京汲智翼成知识产权代理事务所(普通合伙) 11381 | 代理人: | 韩正魁;陈曦 |
地址: | 100176 北京市大兴区经*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种面向集成电路封测的全自动控制烘烤系统及烘烤方法。该烘烤系统包括控制器;烘烤箱,具有可关闭的上料入口和下料出口,并具有多个可往复移动的物料放置位;状态检测装置,设置于烘烤箱上并与控制器连接,以用于检测烘烤箱内的烘烤状态;上料机构,设置于烘烤箱的上游,以接收控制器向上料机构发出的第一控制指令,从而将待烘烤物料转移至物料放置位;下料机构,设置于烘烤箱的下游,以接收控制器向下料机构发出的第二控制指令,从而将已烘烤物料转移至下一工位。该烘烤系统能够实现自动上料、自动烘烤以及自动下料的流水线烘烤模式,可以避免操作人员在工艺过程中的出现的错误,在提高烘烤效率的同时,还提高了烘烤的安全性。 | ||
搜索关键词: | 面向 集成电路 全自动 控制 烘烤 系统 方法 | ||
【主权项】:
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