[发明专利]一种微秒级快轴可调弹光调制超高速广义椭偏测量装置在审
| 申请号： | 202210242500.0 | 申请日： | 2022-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN114609049A | 公开（公告）日： | 2022-06-10 |
| 发明（设计）人： | 张瑞;齐姣;薛鹏;易进;王志斌;李孟委 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01N21/21 | 分类号： | G01N21/21;G01N21/01;G01B11/06 |
| 代理公司： | 太原荣信德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 14119 | 代理人： | 连慧敏 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明属于椭偏测量装置技术领域，具体涉及一种微秒级快轴可调弹光调制超高速广义椭偏测量装置，包括起偏臂、检偏臂和样本台，所述起偏臂的光路方向上依次设置有检偏臂、样本台；所述起偏臂包括光源、起偏器和第一快轴可调圆形弹光调制器，所述光源的光路方向上依次设置有起偏器、第一快轴可调圆形弹光调制器，所述第一快轴可调圆形弹光调制器的光路方向上设置有样本台。本发明采用的椭偏测量方法具有单次测量、测量精度高、标定简单、光谱范围宽等优点。本发明提出的测量装置，较机械旋转速度可提高3‑4个数量级，采用的45°双驱动快轴可调圆形弹光调制器具有光谱范围宽、调制速度快、稳定性高等优质的偏振调制性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微秒 级快轴 可调 调制 超高速 广义 测量 装置 | ||
【主权项】：
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