[发明专利]一种微秒级快轴可调弹光调制超高速广义椭偏测量装置

权利要求书

1.一种微秒级快轴可调弹光调制超高速广义椭偏测量装置，其特征在于：包括起偏臂(1)、检偏臂(2)和样本台(3)，所述起偏臂(1)的光路方向上依次设置有检偏臂(2)、样本台(3)；所述起偏臂(1)包括光源(1-1)、起偏器(1-2)和第一快轴可调圆形弹光调制器(1-3)，所述光源(1-1)的光路方向上依次设置有起偏器(1-2)、第一快轴可调圆形弹光调制器(1-3)，所述第一快轴可调圆形弹光调制器(1-3)的光路方向上设置有样本台(3)。

2.根据权利要求1所述的一种微秒级快轴可调弹光调制超高速广义椭偏测量装置，其特征在于：所述检偏臂(2)包括探测器(2-1)、检偏器(2-2)和第二快轴可调圆形弹光调制器(2-3)，所述第二快轴可调圆形弹光调制器(2-3)的光路方向上依次设置有检偏器(2-2)、探测器(2-1)，所述第二快轴可调圆形弹光调制器(2-3)设置在样本台(3)的光路方向上。

3.根据权利要求2所述的一种微秒级快轴可调弹光调制超高速广义椭偏测量装置，其特征在于：所述第一快轴可调圆形弹光调制器(1-3)和第二快轴可调圆形弹光调制器(2-3)均包括通光晶体(4)、第一压电驱动器(5-1)和第二压电驱动器(5-2)，所述通光晶体(4)分别与第一压电驱动器(5-1)和第二压电驱动器(5-2)连接。

4.根据权利要求3所述的一种微秒级快轴可调弹光调制超高速广义椭偏测量装置，其特征在于：所述通光晶体(4)采用圆形结构，所述通光晶体(4)采用熔融石英，所述通光晶体(4)的通光范围为185nm-3500nm。

5.根据权利要求3所述的一种微秒级快轴可调弹光调制超高速广义椭偏测量装置，其特征在于：所述第一压电驱动器(5-1)与第二压电驱动器(5-2)之间的夹角为45°。

6.根据权利要求1所述的一种微秒级快轴可调弹光调制超高速广义椭偏测量装置，其特征在于：所述光源(1-1)采用光谱范围宽193nm-3200nm的复色光源及单色仪。

7.根据权利要求3所述的一种微秒级快轴可调弹光调制超高速广义椭偏测量装置，其特征在于：所述第一压电驱动器(5-1)和第二压电驱动器(5-2)均采用压电α-石英晶体。

8.根据权利要求2所述的一种微秒级快轴可调弹光调制超高速广义椭偏测量装置，其特征在于：所述探测器(2-1)包括紫外高速光电倍增管、硅基高速光电探测器和InAsSb光电探测器，所述紫外高速光电倍增管探测紫外波段，所述硅基高速光电探测器探测可见近红外波段，所述InAsSb光电探测器探测近红外短波红外波段。

9.根据权利要求3所述的一种微秒级快轴可调弹光调制超高速广义椭偏测量装置，其特征在于：所述第一压电驱动器(5-1)与第二压电驱动器(5-2)均设置在通光晶体(4)形成应力驻波的波节位置，所述第一压电驱动器(5-1)与第二压电驱动器(5-2)的工作频率一致。

10.根据权利要求1所述的一种微秒级快轴可调弹光调制超高速广义椭偏测量装置，其特征在于：所述检偏臂(2)和样本台(3)的底部均固定有旋转台，每个所述旋转台均连接有步进电机。