[发明专利]中阶梯光栅闪耀角检测装置及其检测方法

摘要

本发明提供一种中阶梯光栅闪耀角检测装置及其检测方法，方法包括：S1、确定中阶梯光栅的闪耀角，根据闪耀角对刻刀的安装角度进行粗调，以对基底刻划形成光栅试段，在基底未刻划的部分镀制金属膜；S2、将基底放置在转台上进行调整，使光垂直入射到金属膜，通过功率计测量各单色光的能量I0(x)；S3、平移基底使光入射到光栅试段，当基底的转动角度为闪耀角时，利用功率计测量各衍射光的能量I(x)；S6、根据I0(x)与I(x)计算光栅试段的各波长的衍射效率，通过调整刻刀的安装角度，直到中阶梯光栅的中心波长的衍射效率处于衍射效率峰值为止；S7、刻刀根据调整好的安装角度对中阶梯光栅进行刻划。本发明能够保证刻刀安装角的调整量准确无误，提升光栅的刻划效率。