[发明专利]扫描电镜的样品平台及扫描电镜有效
| 申请号： | 202210238671.6 | 申请日： | 2022-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN114300328B | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 吴天成;潘结春;张俊 | 申请（专利权）人： | 国仪量子（合肥）技术有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/28 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 赵静 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新区创*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种扫描电镜的样品平台及扫描电镜，样品平台包括：基座；样品承载台，样品承载台用于沿周向放置多个样品；旋转驱动组件，旋转驱动组件设在基座上且具有可旋转的驱动端；电流引导组件，电流引导组件包括绝缘座、第一导电件和第二导电件，绝缘座设在驱动端上且连接样品承载台，以使样品承载台旋转，第一导电件连接样品承载台，第一导电件为围绕样品承载台的转动轴线设置的环形，第二导电件电接触第一导电件以向外输出样品的电信号。本发明通过设置旋转驱动组件驱动样品承载台旋转，样品承载台可承载多个样品，同时设置第二导电件始终接触环形的第一导电件，实现在样品承载台旋转的同时收集电信号，提高检测效率。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描电镜 样品 平台 | ||
【主权项】：
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