[发明专利]一种基于频谱面探测的多波段多角度微纳米测量装置在审
| 申请号： | 202210238627.5 | 申请日： | 2022-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN114777666A | 公开（公告）日： | 2022-07-22 |
| 发明（设计）人： | 彭博方;卢红亮;张卫;李晓茜;李煜纯 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司 31200 | 代理人： | 陆飞;陆尤 |
| 地址： | 200433 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明属于微纳制造技术领域，具体为一种基于频谱面探测的多波段多角度微纳米测量装置。本发明装置包括光源、线性渐变滤波片、偏振片、中继镜组、分光镜、显微物镜、后端镜组、频谱面光路连接组成；通过将连续渐变的多个波段的光，各自以不同的角度入射至待测样品上，并通过显微物镜采集，直至在频谱面使用光电探测器同时采集获得包含待测物形貌信息的光信号，并分析处理该光信号，进而获得待测物体的形貌参数信息。相对于传统单角度光谱型、单色光角谱型测量方案而言，能够获得更为广泛的信息，更好的用于微纳米结构的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 频谱 探测 波段 角度 纳米 测量 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于复旦大学，未经复旦大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210238627.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
