[发明专利]横向激励体声波谐振器及滤波器有效

专利信息
申请号: 202210235815.2 申请日: 2022-03-11
公开(公告)号: CN114584103B 公开(公告)日: 2023-06-20
发明(设计)人: 温志伟;刘文娟;刘婕妤;孙成亮;孙博文;王健 申请(专利权)人: 武汉敏声新技术有限公司
主分类号: H03H9/02 分类号: H03H9/02;H03H9/13;H03H9/17;H03H9/54
代理公司: 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 代理人: 王思楠
地址: 430000 湖北省武汉市东湖新技术*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 一种横向激励体声波谐振器及滤波器,涉及谐振器技术领域。该横向激励体声波谐振器包括衬底、位于衬底上的压电层和分别位于压电层上的上叉指电极层、横向反射结构和纵向反射结构;横向反射结构包括沿第一方向排布于上叉指电极层两侧的两第一反射条,纵向反射结构包括沿第二方向排布于上叉指电极层两侧的两第二反射条,第二方向与第一方向垂直且与衬底和压电层的层叠方向垂直;第一反射条沿第一方向和第二反射条沿第二方向的宽度分别大于上叉指电极层的各子电极沿第一方向的宽度,且第一反射条和第二反射条在压电层上的高度分别大于上叉指电极层在压电层上的高度。该横向激励体声波谐振器能提高其机械品质因数。
搜索关键词: 横向 激励 声波 谐振器 滤波器
【主权项】:
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