[发明专利]一种石英环倒角装置在审

专利信息
申请号: 202210227859.0 申请日: 2022-03-08
公开(公告)号: CN114523580A 公开(公告)日: 2022-05-24
发明(设计)人: 黄世果;朱江林;许欢;杨佐东 申请(专利权)人: 重庆臻宝实业有限公司
主分类号: B28D1/22 分类号: B28D1/22;B28D7/02;B28D7/04
代理公司: 重庆乐泰知识产权代理事务所(普通合伙) 50221 代理人: 雷钞
地址: 401326 重庆市九*** 国省代码: 重庆;50
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摘要: 发明公开了一种石英环倒角装置,属于半导体生产装置技术领域,包括:工作台和安装在所述工作台上的机架,所述机架上安装有升降机构,所述升降机构上连接有安装架,所述安装架上转动连接有安装板;所述安装板上靠近所述工作台侧安装有夹爪;所述安装板通过输出轴连接有第二电机,所述工作台上安装有传动装置,所述传动装置上安装有内圆倒角器和外圆倒角器,所述外圆倒角器上安装有切割刀。通过传动装置带动内圆倒角器和外圆倒角器同时滑动对石英环进行倒角并通过切割刀切割,节约了石英环倒角工序,提高了效率,传动装置能及时限位,内、外圆倒角器为相反的梯形状,使石英环的内圆和外圆的倒角尺寸一致,提高了倒角效率和质量。
搜索关键词: 一种 石英 倒角 装置
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