[发明专利]一种石英环倒角装置

说明书

本发明公开了一种石英环倒角装置，属于半导体生产装置技术领域，包括：工作台和安装在所述工作台上的机架，所述机架上安装有升降机构，所述升降机构上连接有安装架，所述安装架上转动连接有安装板；所述安装板上靠近所述工作台侧安装有夹爪；所述安装板通过输出轴连接有第二电机，所述工作台上安装有传动装置，所述传动装置上安装有内圆倒角器和外圆倒角器，所述外圆倒角器上安装有切割刀。通过传动装置带动内圆倒角器和外圆倒角器同时滑动对石英环进行倒角并通过切割刀切割，节约了石英环倒角工序，提高了效率，传动装置能及时限位，内、外圆倒角器为相反的梯形状，使石英环的内圆和外圆的倒角尺寸一致，提高了倒角效率和质量。

技术领域

本发明属于半导体生产装置领域，具体涉及一种石英环倒角装置。

背景技术

石英环是一种半导体材料，石英环的生产过程中最后一步需要进行倒角以保护石英玻璃，避免产生崩口、裂纹等缺陷。而现有装置均是将生产后的石英环进行倒角，且现有的倒角装置只能单独对石英环的内圆或外圆进行倒角加工，无法同时进行内圆和外圆的倒角加工，且在石英环倒角的加工过程中，普遍采用人工辅助实现倒角，该方式依赖人工经验，会导致石英环内圆或外圆的倒角尺寸出现偏差，且一些石英环倒角装置在倒角过程中由于倒角器的无法及时限位导致对石英环的倒角过多而影响石英环的倒角质量，且倒角效率低。

因此需要提出一种石英环倒角装置，以解决上述问题。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的在于提供一种石英环倒角装置，用于解决现有技术中不能同时进行内圆和外圆的倒角加工，且均需要通过人工辅助实现倒角，使得内圆或外圆的倒角尺寸出现偏差，且一些石英环倒角装置在倒角过程中由于倒角器的无法及时限位导致对石英环的倒角过多而影响石英环的倒角质量，倒角效率低的问题。

为达到上述目的，本发明提供如下技术方案：

本发明提供一种石英环倒角装置，包括：工作台和安装在所述工作台上的机架，所述机架上安装有升降机构，所述升降机构包括第一电机、螺杆、安装架、安装板，所述第一电机输出端与所述螺杆连接，所述安装架与所述螺杆螺纹连接，所述安装板转动连接在所述安装架靠近所述工作台侧；所述安装板上靠近所述工作台侧安装有夹爪，所述夹爪用于夹持石英环外周壁；所述安装板通过输出轴连接有第二电机，所述工作台上滑动安装有内圆倒角器和外圆倒角器，所述外圆倒角器上安装有切割刀；

所述传动装置包括：

第三电机，所述工作台内设有工作腔，所述第三电机安装在所述工作腔内；

传动轴，所述传动轴固定连接在所述第三电机输出端；所述传动轴上设有第一弧形槽和第二弧形槽，所述第一弧形槽和所述第二弧形槽相对称设置；

第一滑座，所述第一滑座滑动连接在所述传动轴上，所述第一滑座上转动连接有第一转轴，所述第一转轴滑动连接在所述第一弧形槽内，所述内圆倒角器固定连接在所述第一滑座上；

第二滑座，所述第二滑座滑动连接在所述传动轴上，所述第二滑座上转动连接有第二转轴，所述第二转轴滑动连接在所述第二弧形槽内，所述外圆倒角器固定连接在所述第二滑座上。

进一步，所述安装板上安装有稳定夹持装置，所述稳定夹持装置包括：

安装轴，所述安装轴固定连接在所述安装板远离所述第二电机侧；

第一滑动套，所述第一滑动套滑动连接在所述安装轴上，所述第一滑动套上周向设置有多个挤压板，所述安装板上开设有滑孔，所述挤压板与所述滑孔滑动连接；

第一连接杆，所述第一连接杆的第一端与所述挤压板铰接，所述第一连接杆的第二端与所述第一滑动套铰接；

第二滑动套，所述第二滑动套滑动连接在所述输出轴上；