[发明专利]一种内凹型工件的内表面整体三维轮廓测量装置及方法有效
| 申请号： | 202210221254.0 | 申请日： | 2022-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN114295075B | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 马骅;张霖;柴立群;白金玺;任寰;石振东;马可;刘丽佳 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 林菲菲 |
| 地址： | 621000*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种内凹型工件的内表面整体三维轮廓测量装置及方法，包括：用于同时生成环形光和准直光的光生成模块，且环形光的传输方向垂直于被测样件的对称中心轴，准直光的传输方向平行于所述被测样件的对称中心轴；用于接收第一反射光并生成第一物像的第一反射光检测模块；用于接收第二反射光并生成第二物像的第二反射光检测模块，以及用于根据第一反射光集获取内凹空间侧面轮廓和根据第二反射光集获取内底面轮廓的控制处理模块。本发明的目的在于提供一种内凹型工件的内表面整体三维轮廓测量装置及方法，有效解决了原各种单探头角度适应性不足，系统结构复杂等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 内凹型 工件 表面 整体 三维 轮廓 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
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