[发明专利]含有聚酰亚胺的聚合物、正型感光性树脂组成物、负型感光性树脂组成物及图案形成方法在审
| 申请号： | 202210219992.1 | 申请日： | 2022-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN115044040A | 公开（公告）日： | 2022-09-13 |
| 发明（设计）人： | 浦野宏之;饭尾匡史;竹村胜也 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | C08G73/10 | 分类号： | C08G73/10;G03F7/039;G03F7/038;G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明涉及含有聚酰亚胺的聚合物、正型感光性树脂组成物、负型感光性树脂组成物及图案形成方法。本发明的课题为提供溶剂溶解性良好且可溶于碱性水溶液中，又可形成微细图案且能获得高分辨率的正型感光性树脂组成物及负型感光性树脂组成物；可使用作为它们的基础树脂的含有聚酰亚胺的聚合物；以及使用了上述组成物的图案形成方法及硬化被膜形成方法。上述课题的解决手段为一种聚合物，其特征为：包含下列通式(1)表示的结构单元。 |
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| 搜索关键词： | 含有 聚酰亚胺 聚合物 感光性 树脂 组成 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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