[发明专利]工作台装置、光刻设备和物品制造方法在审
| 申请号： | 202210205596.3 | 申请日： | 2022-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN115097697A | 公开（公告）日： | 2022-09-23 |
| 发明（设计）人： | 岩谷聪 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01B9/02055 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 林振波 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请涉及工作台装置、光刻设备和物品制造方法。一种工作台装置，包括：工作台，能够在相互正交的第一方向和第二方向上移动；标尺，在工作台上布置成在第一方向上延伸；光学组件，布置成在工作台的可移动范围的至少一部分中面对标尺，并且在第二方向上延伸；和干涉仪，配置成将测量光和参考光发送到光学组件，并接收从光学组件返回的测量光和参考光；其中，光学组件配置成将来自干涉仪的测量光施加于标尺并将参考光和从标尺返回的测量光返回到干涉仪。 | ||
| 搜索关键词： | 工作台 装置 光刻 设备 物品 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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