[发明专利]工作台装置、光刻设备和物品制造方法

权利要求书

1.一种工作台装置，包括：

工作台，能够在相互正交的第一方向和第二方向上移动；

标尺，在工作台上布置成在第一方向上延伸；

光学组件，布置成在工作台的可移动范围的至少一部分中面对标尺，并且在第二方向上延伸；和

干涉仪，配置成将测量光和参考光发送到光学组件，并接收从光学组件返回的测量光和参考光，

其中，光学组件配置成将来自干涉仪的测量光施加于标尺并将参考光和从标尺返回的测量光返回到干涉仪。

2.根据权利要求1所述的工作台装置，其中：

光学组件包括：

分束器/合束器，配置成分离由干涉仪提供的测量光和参考光并把要返回干涉仪的测量光和参考光组合，

第一逆反射器，配置成将从分束器/合束器发射并由标尺衍射的测量光向标尺进行逆反射，以将测量光经由标尺返回到分束器/合束器，以及

第二逆反射器，配置成对从分束器/合束器发射的参考光进行逆反射，以将参考光返回到分束器/合束器，以及

其中，分束器/合束器、第一逆反射器和第二逆反射器在第二方向上延伸。

3.根据权利要求2所述的工作台装置，其中：

分束器/合束器、第一逆反射器和第二逆反射器每个都是平面式逆反射器。

4.根据权利要求1所述的工作台装置，其中：

标尺布置在工作台的顶面上。

5.根据权利要求1所述的工作台装置，还包括：

可移动体，配置成与工作台一起在第二方向上移动；

第一反射镜，设置在可移动体中；和

第二反射镜和第三反射镜，固定地布置成与工作台、可移动体和第一反射镜分离开，并在第二方向上延伸，

其中，第一反射镜、第二反射镜和第三反射镜布置成在干涉仪和光学组件之间形成测量光和参考光二者的光路。

6.根据权利要求1所述的工作台装置，还包括：

第二标尺，在工作台上布置成在第一方向上延伸；

第二光学组件，布置成在工作台的可移动范围的至少一部分中面对第二标尺并且在第二方向上延伸；和

第二干涉仪，配置成将测量光和参考光发送到第二光学组件，并接收从第二光学组件返回的测量光和参考光，

其中，第二光学组件布置成在第一方向上与前述光学组件分离开。

7.根据权利要求6所述的工作台装置，还包括：

激光干涉仪系统，配置成测量工作台的位置，

其中，使用激光干涉仪系统也检测使用标尺、光学组件、干涉仪、第二标尺、第二光学组件和第二干涉仪检测的工作台的位置信息中的至少一些。

8.根据权利要求7所述的工作台装置，还包括：

致动器，配置成被控制为基于干涉仪、第二干涉仪和激光干涉仪系统提供的信息来驱动工作台。

9.根据权利要求8所述的工作台装置，其中：

激光干涉仪系统包括激光干涉仪，激光干涉仪配置成将测量激光束施加到工作台的侧面。

10.根据权利要求8所述的工作台装置，其中：

激光干涉仪系统包括两个激光干涉仪，这两个激光干涉仪配置成分别将测量激光束施加到工作台的侧面中的不同高度位置，以获得工作台的倾斜信息。

11.根据权利要求1所述的工作台装置，还包括：

激光干涉仪，配置成将测量激光束施加到工作台的侧面以测量工作台的位置。

12.根据权利要求1所述的工作台装置，还包括：

两个激光干涉仪，配置成分别将测量激光束施加到工作台侧面的不同高度位置，以获得工作台的倾斜信息。