[发明专利]一种超高纯石英砂的提纯方法有效
| 申请号： | 202210199336.X | 申请日： | 2022-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN114477189B | 公开（公告）日： | 2023-06-20 |
| 发明（设计）人： | 何良雨;刘彤 | 申请（专利权）人： | 何良雨 |
| 主分类号： | C01B33/12 | 分类号： | C01B33/12 |
| 代理公司： | 深圳众鼎专利商标代理事务所(普通合伙) 44325 | 代理人： | 谭果林 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市前海深港合作*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 为克服现有石英砂提纯工艺存在杂质残留，影响石英砂纯度的问题，本发明提供了一种超高纯石英砂的提纯方法，包括以下操作：获取石英砂；对石英砂进行动态冲击压缩，使石英砂处于无序亚稳态；使用化学溶液处理石英砂以去除杂质，清洗后得到高纯度石英砂。本发明提供的超高纯石英砂的提纯方法通过对石英砂进行动态冲击压缩，使石英砂处于结构松散的无序亚稳态，从而使得化学溶液可以充分渗入，去除深层杂质，提纯效果更好。该方法可以结合氯化焙烧等其他石英晶格杂质提纯步骤，实现半导体制造业所需的4N8、5N级别的超高纯石英砂制取。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高纯 石英砂 提纯 方法 | ||
【主权项】：
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