[发明专利]一种轴承套圈接触式超精密化学机械抛光装置及方法有效
| 申请号： | 202210197054.6 | 申请日： | 2022-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN114700870B | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | 江亮;黄朝蓬;钱林茂;张韶华;周宁宁;陈宇 | 申请（专利权）人： | 西南交通大学 |
| 主分类号： | B24B37/02 | 分类号： | B24B37/02;B24B37/11;B24B37/27;B24B37/34;B24B41/02;B24B47/12;B24B41/04;B24B57/02;B24B1/00;C09G1/02 |
| 代理公司： | 成都虹盛汇泉专利代理有限公司 51268 | 代理人： | 陈婷 |
| 地址： | 610031 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种轴承套圈接触式超精密化学机械抛光装置及方法，抛光装置包括第一调心模块、第二调心模块、样品旋转模块、样品夹持模块、抛光模块和机座；第二调心模块调节样品夹持模块位置，带动样品夹持模块上的套圈，使套圈与样品旋转模块同轴，第一调心模块调节抛光模块位置，带动抛光模块上的抛光头，使抛光头与套圈同轴。抛光头高速旋转进行抛光，样品低速旋转均化误差，配合实现套圈超精密抛光。化学机械抛光液包括0.01～40wt％的胶体二氧化硅、0～10wt％的过氧化氢、剩余为水，pH值2‑11。本发明针对性设计内、外套圈抛光头和夹具；控制样品旋转模块和抛光模块转速，均化误差，实现套圈表面均匀抛光；针对不锈轴承钢设计抛光液，实现纳米级表面粗糙度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 轴承 接触 精密 化学 机械抛光 装置 方法 | ||
【主权项】：
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