[发明专利]无漂移湿度传感器在审
| 申请号： | 202210196787.8 | 申请日： | 2022-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN114705724A | 公开（公告）日： | 2022-07-05 |
| 发明（设计）人： | 於广军 | 申请（专利权）人： | 上海申矽凌微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/04 | 分类号： | G01N27/04;G01N27/22 |
| 代理公司： | 上海锻创知识产权代理有限公司 31448 | 代理人： | 范文琦 |
| 地址： | 201108 上海市闵*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种无漂移湿度传感器，包括：第一湿度传感器单元和第二湿度传感器单元，所述第一湿度传感器单元包括第一测量电极，所述第一测量电极上覆盖有第一湿敏材料，所述第二湿度传感器单元包括第二测量电极，所述第二测量电极上覆盖有第二湿敏材料，所述第一湿度传感器单元和所述第二湿度传感器单元的最大湿度漂移不同。本发明的湿度传感器能够有效解决一般的电容式湿度传感器或电阻式湿度传感器漂移的问题；针对不同材料的湿敏材料采用相应的加工方法，适用性较高；通过校正算法，提高了测量准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 漂移 湿度 传感器 | ||
【主权项】：
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