[发明专利]一种锗硅异质结晶体管的电离总剂量效应的测试方法及装置在审

专利信息
申请号: 202210189856.2 申请日: 2022-02-28
公开(公告)号: CN114563642A 公开(公告)日: 2022-05-31
发明(设计)人: 郭红霞;胡嘉文;张晋新;冯亚辉;欧阳晓平;钟向丽;白如雪;刘益维 申请(专利权)人: 湘潭大学
主分类号: G01R31/00 分类号: G01R31/00
代理公司: 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 代理人: 陈超
地址: 411100 湖*** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 发明提出的一种锗硅异质结晶体管的电离总剂量效应的测试方法及装置,包括:检测多个锗硅异质结晶体管的电学性能,筛选出待测器件;将待测器件分组后与多个PCB板分别对应连接,得到多个待测器件组;将待测器件组固定在真空腔内部的无氧铜板上;对真空腔内进行抽真空;在预设条件下分别检测待测器件组的电学性能;对每个待测器件组的Gummel特性曲线进行对比分析,确定预设温度辐照下,锗硅异质结晶体管受到总剂量效应影响的Gummel特性变化。通过对不同条件下晶体管性能的检测及对比分析,得到极端低温下载流子冻析效应和电离总剂量效应的作用下晶体管的特性变化情况,为了解晶体管在空间极端环境下的可靠性以及提供相应的加固措施提供依据。
搜索关键词: 一种 锗硅异质 结晶体 电离 剂量 效应 测试 方法 装置
【主权项】:
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