[发明专利]涂布杯形变测试装置与测试涂布杯形变的方法在审
| 申请号： | 202210185899.3 | 申请日： | 2022-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN116086288A | 公开（公告）日： | 2023-05-09 |
| 发明（设计）人： | 陈立忠;刘承;徐权振 | 申请（专利权）人： | 南亚科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/30 | 分类号： | G01B5/30 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 康艳青;王琳 |
| 地址： | 中国台湾新*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种涂布杯形变测试装置包括支撑板、第一盘子以及第二盘子。第一盘子设置位于支撑板的第一侧面。第一盘子为圆形并具有第一直径。第二盘子设置位于第一盘子或支撑板的第二侧面。第二侧面相对于第一侧面。第二盘子为圆形并具有第二直径。第二直径小于第一直径。第一盘子与第二盘子中的每一者的面积小于支撑板的面积，并且第一盘子与第二盘子中的每一者在支撑板上的投影位于支撑板内。如此，能够判定涂布杯装置是否形变，避免损害到涂布杯装置中处理的半导体。 | ||
| 搜索关键词： | 涂布杯 形变 测试 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南亚科技股份有限公司，未经南亚科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210185899.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：污水净化装置及方法
- 下一篇：一种相界区域定向凝固合金及其制备方法
