[发明专利]涂布杯形变测试装置与测试涂布杯形变的方法

权利要求书

1.一种涂布杯形变测试装置，其特征在于，包括：

支撑板；

第一盘子，设置位于该支撑板的第一侧面，其中该第一盘子为圆形并具有第一直径；以及

第二盘子，设置位于该第一盘子或该支撑板的第二侧面，其中该第二侧面相对于该第一侧面，该第二盘子为圆形并具有第二直径，该第二直径小于该第一直径，

其中该第一盘子与该第二盘子中的每一者的面积小于该支撑板的面积，并且该第一盘子与该第二盘子中的每一者在该支撑板上的投影位于该支撑板内。

2.根据权利要求1所述的涂布杯形变测试装置，其特征在于，该支撑板、该第一盘子与该第二盘子为同心圆。

3.根据权利要求1所述的涂布杯形变测试装置，其特征在于，该支撑板进一步包括：

标尺，形成于该支撑板上，其中该标尺的复数个刻度沿从该支撑板的中心至该支撑板的周缘的方向上排列。

4.根据权利要求3所述的涂布杯形变测试装置，其特征在于，该标尺的该些刻度设置于该支撑板上，且对齐于该第一盘子或该第二盘子的周缘处。

5.根据权利要求3所述的涂布杯形变测试装置，其特征在于，该支撑板是透明的，并且该标尺的该些刻度设置位于该支撑板的该第一侧面与该第二侧面中的至少一者上。

6.根据权利要求1所述的涂布杯形变测试装置，其特征在于，该第一盘子与该第二盘子是透明的。

7.根据权利要求1所述的涂布杯形变测试装置，其特征在于，进一步包括：

第三盘子，设置位于该第一盘子与该第二盘子其中一者上，其中该第三盘子为圆形并具有第三直径，该第三直径小于该第一盘子的该第一直径与该第二盘子的该第二直径。

8.一种测试涂布杯形变的方法，其特征在于，包括：

提供涂布杯形变测试装置，其中该涂布杯形变测试装置包括支撑板、第一盘子与第二盘子，该第一盘子与该第二盘子为圆形，该第一盘子设置位于该支撑板的第一侧面上，该第二盘子设置位于该第一盘子或该支撑板的第二侧面，该第二侧面相对于该第一侧，该第二盘子的直径小于该第一盘子的直径；

拆卸涂布杯装置，其中该涂布杯装置包括底杯体、上杯体与内部杯体，该内部杯体可旋转地设置位于在该底杯体上以支撑一半导体晶圆，该上杯体与该底杯体形成空间以容置由该内部杯体支撑在该空间内的该半导体晶圆；

由该涂布杯形变测试装置的该第一盘子接收该底杯体；以及

由该涂布杯形变测试装置的该第二盘子接收该上杯体。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，进一步包括：

在该涂布杯测试装置的该第一盘子接收该底杯体后旋转该底杯体；以及

在该涂布杯测试装置的该第二盘子接收该上杯体后旋转该上杯体。

10.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，该底杯体包括第一边缘，该上杯体包括第二边缘，该第一边缘连接至该第二边缘以形成用以容置该半导体晶圆的该空间，该底杯体的该第一边缘为该涂布杯形变测试装置的该第一盘子接收，并且该上杯体的该第二边缘为该涂布杯形变测试装置的该第二盘子接收。

11.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，该涂布杯装置进一步包括设置位于该底杯体与该上杯体之间的中间杯体，该中间杯体于该上杯体与该底杯体形成的空间内延伸至该半导体晶圆的周缘处，该涂布杯形变测试装置进一步包括设置位于该第一盘子与该第二盘子其中之一上的第三盘子，该方法进一步包括：

由该第三盘子接收该中间杯体。