[发明专利]一种精确控制ITO薄膜方块电阻的方法在审
| 申请号： | 202210180918.3 | 申请日： | 2022-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN114574831A | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 金扬利;陈玮;王琪;徐博 | 申请（专利权）人： | 中国建筑材料科学研究总院有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/35;C23C14/08;G09F9/30;H05B3/00;H05B3/02;H05K7/20 |
| 代理公司： | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人： | 孟阿妮;刘铁生 |
| 地址： | 100024*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明是关于一种精确控制ITO薄膜方块电阻的方法，其包括:控制载流子浓度和迁移率来调控电阻率，在ITO薄膜厚度偏差不变或变大的情况下，实现对ITO薄膜方块电阻的调控。本发明通过控制载流子浓度和迁移率，可以实现对电阻率的调控，在ITO薄膜厚度偏差不变的情况下，则可以实现对方块电阻的调控。通过采用本发明的方法，可以制备得到性能优异的加热电阻，并且方块电阻偏差可控制在较小范围内。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 精确 控制 ito 薄膜 方块 电阻 方法 | ||
【主权项】：
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