[发明专利]透明导电膜PVD腔体的加热控制方法、装置及存储介质有效
| 申请号： | 202210180699.9 | 申请日： | 2022-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN114481078B | 公开（公告）日： | 2023-09-29 |
| 发明（设计）人： | 余仲;周涛 | 申请（专利权）人： | 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/35 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 洪铭福 |
| 地址： | 518118 广东省深圳市坪山*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种透明导电膜PVD腔体的加热控制方法、装置及存储介质。其中，透明导电膜PVD腔体的加热控制方法包括：接收启动指令以预设的加热参数启动加热器进行加热，并获取初始温度值，加热参数包括实时设定温度值；根据初始温度值和预设的主设定参数确定实时设定温度值，并获取当前温度上升率和当前温度值，主设定参数包括主设定温度值；根据当前温度上升率、当前温度值和主设定参数调节加热参数位于预设加热参数范围；若当前温度值超过主设定温度值与预设温度阈值的和值，控制加热器供电关闭或调节实时设定温度值。本发明根据当前温度上升率、当前温度值和主设定参数调节加热参数位于对应的预设加热范围，实现精准的温度控制和升温更加精确。 | ||
| 搜索关键词： | 透明 导电 pvd 加热 控制 方法 装置 存储 介质 | ||
【主权项】：
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