[发明专利]带有多级可控复合磁场电弧离子源的难溶金属沉积设备在审
| 申请号： | 202210177566.6 | 申请日： | 2022-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN114657518A | 公开（公告）日： | 2022-06-24 |
| 发明（设计）人： | 常艳艳;富之柢 | 申请（专利权）人： | 北京茂孚工业控制技术中心 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/54;C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京棘龙知识产权代理有限公司 11740 | 代理人： | 李改平 |
| 地址： | 100071 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了带有多级可控复合磁场电弧离子源的难溶金属沉积设备，涉及到难溶金属沉积设备领域，包括环形磁体，所述环形磁体设置有多组，多组环形磁体上下分布，多组环形磁体的下方设置有调节相邻的环形磁体之间距离的调节组件，所述环形磁体上还设置有复合磁场组件，在每个分级里面一共六个坡莫合金磁极侧面的第一号磁极、第二号磁极、第三号磁极、第四号磁极、第五号磁极、第六号磁极沿环形磁体圆周方向分布，每个柱形磁体上均设置有水平激磁线圈，第一分级的第一号磁极和第二分级的第一号磁极在机械上互差九十度，用以产生相互垂直的磁场，用来改变离子束的移动方向，达到扫描工件的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 带有 多级 可控 复合 磁场 电弧 离子源 金属 沉积 设备 | ||
【主权项】：
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