[发明专利]一种高精度测量光斑微位移的光学系统及测试方法

摘要

本发明公开了一种高精度测量光斑微位移的光学系统，包括定位台，所述定位台上设置有光斑目标平面，使得所述光斑目标平面可以沿定位台移动固定位置；入射激光通过偏转电极在所述光斑目标平面上形成光斑；所述光斑目标平面一侧用于接收激光出射光线形成的光斑，另一侧设置有图像数据采集系统，所述图像数据采集系统对准光斑目标平面。本发明提供了一种简单方便的测量光调制的微小位移系统和方法，针对光斑质量不好且需要精确测量光斑微小位移信息的工况下，我们提出了利用CCD高清相机拍照并提取灰度值的方式来进行表征。在我们的测试工况下，成功对质量较差的光斑最小1mm位移的检测分析。