[发明专利]上提拉开放式单晶炉有效
| 申请号： | 202210175772.3 | 申请日： | 2022-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN114717649B | 公开（公告）日： | 2023-03-24 |
| 发明（设计）人： | 李方;王建波;尹嘉琦;江佳飞 | 申请（专利权）人： | 连城凯克斯科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/26 | 分类号： | C30B15/26;C30B15/30;C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 无锡苏元专利代理事务所(普通合伙) 32471 | 代理人： | 王清伟 |
| 地址： | 214000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了上提拉开放式单晶炉，炉体包括主炉室和副炉室，主炉室内部设有与籽晶配合的坩埚，主炉室的顶部设有炉盖，炉盖设有通孔；副炉室设于主炉室的上方，副炉室内设有绳体，绳体的底部末端与籽晶相配合；热场组件与坩埚相配合；坩埚驱动组件能够驱动坩埚在主炉室内转动或升降；提升驱动组件能够驱动绳体在副炉室内转动或升降；炉盖与副炉室之间设有缓冲组件；炉盖上设检测窗，能够与视觉检测组件配合。本发明结构稳定，可保证晶体的物理特性，并能够实时观察晶体生长情况。 | ||
| 搜索关键词： | 上提拉 开放式 单晶炉 | ||
【主权项】：
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