[发明专利]上提拉开放式单晶炉

权利要求书

1.上提拉开放式单晶炉，其特征在于，包括，

炉体，包括连通设置的主炉室(101)和副炉室(102)，所述主炉室(101)的内部设有坩埚(103)，所述坩埚(103)与籽晶(106)相配合，所述主炉室(101)的顶部设有炉盖(10)，所述炉盖(10)设有通孔；所述副炉室(102)设于所述主炉室(101)的上方，所述副炉室(102)内设有绳体(104)，所述绳体(104)的底部末端通过夹持器(105)与所述籽晶(106)相配合；

热场组件(107)，设于所述主炉室(101)内部，并与所述坩埚(103)相配合；

坩埚(103)驱动组件，与所述坩埚(103)相配合，能够驱动所述坩埚(103)在所述主炉室(101)内转动或升降；

提升驱动组件(40)，设于所述副炉室(102)的顶部，能够驱动所述绳体(104)在所述副炉室(102)内转动或升降；

缓冲组件(30)，所述缓冲组件(30)设于所述炉盖(10)与所述副炉室(102)之间，包括上下设置的第一固定板(31)和第二固定板(32)，所述第一固定板(31)与所述副炉室(102)的底部相连，所述第二固定板(32)设于所述炉盖(10)的上表面；所述第一固定板(31)的底部设有缓冲柱(33)，所述第二固定板(32)的上表面设有弹簧片(34)，所述弹簧片(34)的顶部设有台阶部(341)，所述台阶部(341)与所述缓冲柱(33)的底端相配合；

视觉检测组件，所述视觉检测组件与所述炉盖(10)相配合，包括CCD检测相机(12)；所述炉盖(10)设有检测窗(11)，所述检测窗(11)与所述CCD检测相机(12)配合设置。

2.根据权利要求1所述的上提拉开放式单晶炉，其特征在于，所述第二固定板(32)的上表面设有缓冲弹簧(351)，所述弹簧片(34)设于所述缓冲弹簧(351)的外侧，所述缓冲弹簧(351)的顶部设有缓冲块(352)，所述缓冲块(352)与所述缓冲柱(33)的底面相对设置；

所述缓冲柱(33)的底部设有紧固件(36)，所述紧固件(36)具有“十”字型截面，所述紧固件(36)上竖直方向的两个末端一端与所述缓冲柱(33)的底部嵌合，另一端与所述缓冲块(352)抵接；所述紧固件(36)上水平方向的两个末端将所述弹簧片(34)的台阶部(341)夹紧在所述缓冲柱(33)的底部。

3.根据权利要求2所述的上提拉开放式单晶炉，其特征在于，所述缓冲组件(30)还包括设置在所述缓冲柱(33)外侧的第一限位件(37)和设置在所述弹簧片(34)外侧的第二限位件(38)，所述第一限位件(37)具有向下突出的第一凸起部(371)，所述第二限位件(38)具有向上突出的第二凸起部(381)，所述第一凸起部(371)与所述第二凸起部(381)相对设置。

4.根据权利要求1所述的上提拉开放式单晶炉，其特征在于，所述提升驱动组件(40)包括提升器、称重器(41)、晶转电机(42)和转动盘(43)；

所述转动盘(43)通过轴承(77)设置在所述副炉室(102)的上端，所述晶转电机(42)的输出端与所述转动盘(43)相连并驱动所述转动盘(43)转动；

所述转动盘(43)的上方设有壳体(44)，所述提升器与所述称重器(41)均设置在所述壳体(44)内，所述称重器(41)与所述壳体(44)固定连接，并且所述称重器(41)的工作端与所述提升器相配合；所述绳体(104)与所述提升器相配合。

5.根据权利要求4所述的上提拉开放式单晶炉，其特征在于，所述提升器包括与所述壳体(44)固定连接的第一提升轮(51)、第二提升轮(52)、第三提升轮(53)，以及与所述壳体(44)不相连的第四提升轮(54)，所述第一提升轮(51)与所述第二提升轮(52)位于所述第三提升轮(53)与所述第四提升轮(54)的下方，所述绳体(104)上远离所述籽晶(106)的一端与所述第一提升轮(51)连接，并且所述绳体(104)依次绕过所述第一提升轮(51)、第二提升轮(52)、第三提升轮(53)与所述第四提升轮(54)后向下延伸；所述第四提升轮(54)与所述称重器(41)的工作端连接。