[发明专利]一种基于酸敏性环氧单体的化学放大光刻胶组合物及其应用在审
| 申请号： | 202210174265.8 | 申请日： | 2022-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN114815505A | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 陆新宇;杨贯文;李博 | 申请（专利权）人： | 烯欧途（杭州）新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004 |
| 代理公司： | 杭州新标知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 33359 | 代理人： | 王晓普 |
| 地址： | 311422 浙江省杭州市富阳区银*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于酸敏性环氧单体的化学放大光刻胶组合物，所述的光刻胶组合物包括：酸敏性聚合物树脂、光敏剂、猝灭剂和溶剂；所述酸敏性聚合物树脂由酸敏性环氧单体在催化剂或引发剂的作用下，通过环氧开环的方式进行聚合反应制备得到。本发明提供的基于酸敏性环氧单体的化学放大光刻胶组合物具有酸敏感的聚合物主链及侧链，在光刻过程中可以同时发生主链与侧链结构的断裂，并产生羟基、羧基等强极性基团，提高了与非曝光区域的溶解度差异，从而可以得到更高的灵敏度、对比度、分辨率以及更低的线边缘粗糙度，弥补了一般化学放大型光刻胶材料的缺陷，可应用于g线光刻、i线光刻、KrF光刻、ArF光刻、极紫外光刻、电子束光刻和离子束光刻。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 酸敏性环氧 单体 化学 放大 光刻 组合 及其 应用 | ||
【主权项】：
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