[发明专利]一种实时监测量子点膜层厚度的方法及设备在审
| 申请号： | 202210172358.7 | 申请日： | 2022-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN114636377A | 公开（公告）日： | 2022-06-17 |
| 发明（设计）人： | 张超;庄永漳;仉旭 | 申请（专利权）人： | 镭昱光电科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;H01L21/66 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 王茹 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种实时监测量子点膜层厚度的方法及设备。所述实时监测量子点膜层厚度的方法包括：将量子点标准液制成多个不同厚度的量子点标准膜层，测定所述多个不同厚度的量子点标准膜层在指定波长的激发光照射下的吸收值和有效转换效率，从而建立量子点标准膜层的厚度与吸收值及有效转换效率的关系式；将与量子点标准液组成成分相同的待测量子点液制成待测量子点膜层，并测定所述待测量子点膜层在所述激发光照射下的吸收值和有效转换效率，再依据关系式确定待测量子点膜层的厚度。本发明的实时监测量子点膜层厚度的方法可以达到对膜层厚度实时监测的效果，进而提高生产效率；且本发明采用的设备结构简单，在后续器件加工过程中应用前景广泛。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 实时 监测 量子 点膜层 厚度 方法 设备 | ||
【主权项】：
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