[发明专利]TC-SAW器件及其制造方法在审
| 申请号： | 202210166561.3 | 申请日： | 2022-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN114553173A | 公开（公告）日： | 2022-05-27 |
| 发明（设计）人： | 许欣 | 申请（专利权）人： | 广东广纳芯科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/64;H03H3/08 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 熊风 |
| 地址： | 510700 广东省广州市黄*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种TC‑SAW器件，其包括：衬底层；形成在衬底层上的叉指电极；形成在叉指电极上的活塞部；连接叉指电极的汇流条；以及覆盖叉指电极、活塞部和汇流条的温度补偿层，其中，叉指电极包含作为真指的第1电极和作为假指的第2电极，第1电极和第2电极在垂直于汇流条的方向上隔开间隙相向地配置，在平行于汇流条的方向上隔开间隔交错地配置，由第1电极构成的第1电极组和由第2电极构成的第2电极组在衬底层上分别构成叉指结构，活塞部形成在第1电极和第2电极的末端，位于同一汇流条上的第1电极的末端的活塞部彼此是平齐的，位于同一汇流条上的第2电极的末端的活塞部彼此也是平齐的。 | ||
| 搜索关键词： | tc saw 器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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