[发明专利]一种高效太阳能电池用旋转陶瓷靶材在审
| 申请号： | 202210165564.5 | 申请日： | 2022-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN114620996A | 公开（公告）日： | 2022-06-14 |
| 发明（设计）人： | 马超宁;许积文;黄誓成;孟红波;姚远;侯远欣 | 申请（专利权）人： | 洛阳晶联光电材料有限责任公司;桂林电子科技大学 |
| 主分类号： | C04B35/01 | 分类号： | C04B35/01;C04B35/453;C04B35/622;C04B35/63;C23C14/08;C23C14/35;C03C17/00;C03C17/245 |
| 代理公司： | 桂林文必达专利代理事务所(特殊普通合伙) 45134 | 代理人： | 白洪 |
| 地址： | 471133 河南省*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高效太阳能电池用旋转陶瓷靶材，所述陶瓷靶材的组份为97‑98wt%的氧化铟以及0.5‑2wt%的氧化锡和1‑2.5wt%的掺杂氧化物；所述掺杂氧化物为氧化钛、氧化钨、氧化钼、氧化锆、氧化铈、氧化硅中的3‑5种。本发明采用多元素的掺杂并配合特定的烧结温度制度，可有效实现较高的靶材密度，改善连续溅射过程中靶材表面产生节瘤的问题。本发明可有效提高薄膜在红外波段的透光率，进而提高太阳能电池红外波段的光电转换能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高效 太阳能电池 旋转 陶瓷 | ||
【主权项】：
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