[发明专利]卷对卷镀膜机的抽真空控制系统及控制方法在审
| 申请号： | 202210165187.5 | 申请日： | 2022-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN114525490A | 公开（公告）日： | 2022-05-24 |
| 发明（设计）人： | 曹蔚琦;金湛;骆中涛;孟晓敏;夏文豪;冯霜 | 申请（专利权）人： | 重庆诺奖二维材料研究院有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/56;C23C14/30 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 黄宗波 |
| 地址： | 400700 重*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明涉及真空镀膜领域，公开了一种卷对卷镀膜机的抽真空控制系统，包括控制器以及与控制器连接的两个初级抽真空单元和一个深度抽真空单元，两个初级抽真空单元分别作用于镀膜腔室其中一侧的第一腔室、第二腔室、第三腔室和第四腔室，深度抽真空单元作用于镀膜腔室两侧的第五腔室、第六腔室和第七腔室。本发明不仅能够实现对真空镀膜机的快速抽真空，使镀膜腔室内的真空度达到工作要求；并且也能够使多个过渡腔室内的真空度从两边往中间逐渐升高，降低对真空泵要求和压力，降低对两侧的密封结构的要求和压力，减少能源消耗；同时利用两侧腔室的高真空度来维持镀膜腔室的高真空度，使镀膜腔室内的高真空更加稳定，提高镀膜质量和效率。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 真空 控制系统 控制 方法 | ||
【主权项】：
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