[发明专利]一种金属材料表面高压低温氮化工艺在审
| 申请号： | 202210151036.4 | 申请日： | 2022-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN114507840A | 公开（公告）日： | 2022-05-17 |
| 发明（设计）人： | 王标;李华伦 | 申请（专利权）人： | 四川中科海科技有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C8/36 | 分类号： | C23C8/36;C23C8/38;C23C8/02;C23F4/00 |
| 代理公司： | 成都精点专利代理事务所(普通合伙) 51338 | 代理人： | 周建 |
| 地址： | 641421 四川省成都市东部新区*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明涉及表面氮化处理技术领域，涉及一种金属材料表面高压低温氮化工艺，包括以下步骤：S1.预处理；S2.负压真空；S3.预热；S4.Ar离子清洗；S5.高压低温刻蚀；S6.氮化处理，再次进行刻蚀后，开启氮气持续氮化处理60min；S7.冷却；S8.循环上述步骤，利用高压放电引出强大高能电子流增强离子氮化时氩氮辉光放电等离子体和含氮气体分子和原子而形成的离子，其有效提高了氮化效率，减少能源消耗和气体排放的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属材料 表面 高压 低温 氮化 工艺 | ||
【主权项】：
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