[发明专利]甩干机的烘干系统、方法、设备、存储介质及甩干机有效
| 申请号： | 202210146404.6 | 申请日： | 2022-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN114485093B | 公开（公告）日： | 2023-01-13 |
| 发明（设计）人： | 盛飞龙;吴彩庭;戴科峰;伍三忠;吴帆;徐俊 | 申请（专利权）人： | 季华恒一（佛山）半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | F26B11/08 | 分类号： | F26B11/08;F26B5/08;F26B21/00;F26B21/12;F26B23/04;F26B25/00;F26B25/22 |
| 代理公司： | 佛山市海融科创知识产权代理事务所(普通合伙) 44377 | 代理人： | 陈志超 |
| 地址： | 528200 广东省佛山市南海区桂*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请涉及半导体制造领域，具体而言，涉及一种甩干机的烘干系统、方法、设备、存储介质及甩干机，甩干机的烘干系统包括甩干桶，还包括：吹扫机构，用于送入吹扫气体；加热机构，用于加热吹扫气体和甩干桶；气体流量调节机构，用于调节吹扫气体的流量；温度湿度传感器，用于测量甩干桶内的温度信息和湿度信息；控制器，用于获取温度信息和湿度信息；在湿度信息大于预设湿度阈值，且温度信息小于或等于预设温度阈值时，减小吹扫机构中吹扫气体的流量；在湿度信息大于预设湿度阈值，且温度信息大于预设温度阈值时，增大吹扫机构中吹扫气体的流量，本申请提出的烘干系统可自动调节吹扫气体流量，实现了甩干机自动化烘干，并提高能源利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 甩干机 烘干 系统 方法 设备 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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